Eigenschaft |
Toleranzen 1. Wahl |
Toleranzen 2. Wahl |
Linearity Fit of Individual Channels /
Abweichung der vier Kanäle von einer linearen Input/Output Kennlinie: (bei ca. 5000 digits pro Kanal) |
not defined yet |
not defined yet |
Noise Level of Individual Channels /
Standardabweichung der vier Kanäle: (bei ca. 5000 digits pro Kanal) |
< 3 digits |
< 10 digits |
Beam Current Dependence /
Stromabhängigkeit über Standardstrombereiche: |
< 40 μm (hor.)
< 30 μm (ver.) |
< 60 μm (hor.)
< 50 μm (ver.) |
Beam Current Dependence at Gain Range Changes /
Stromabhängigkeit bei Standardstrombereichsumschaltungen (Gain-Umschaltungen): |
< 40 μm (hor.)
< 30 μm (ver.) |
< 60 μm (hor.)
< 50 μm (ver.) |
Position Reading RMS /
Standardabweichung der horizontalen und vertikalen Positionswerte innerhalb Standardstrombereiche (Gain Ranges): |
< 1 μm (hor.)
< 1 μm (ver.) |
< 1 μm (hor.)
< 1 μm (ver.) |
Langzeittest:
Min./Max. Werte zwischen den 4 Kanälen (VA, VB, VC, VD):
(innerhalb einer Periode von max. 1 Minute,
zu sehen in den Daten der Langzeittests) |
bis ca. 40 digits |
|
Langzeittest:
Min./Max. Werte der x/y Positionen: (bei ca. 1 Woche Langzeittest) |
+- 4 μm |
+- 8 μm |
Langzeitdrift (bei Temperaturstabilität von < 0.2 °C):
Intensität:
x/y Position: |
< 50 digits
< +- 1 μm
|
< 150 digits
< +- 5 μm
|